sccm和slm是流量的單位，誰能說具體點嗎？SCCM是標準立方米每分鐘的縮寫，是指在標準狀態(tài)（即1個大氣壓，25℃）下每分鐘1立方厘米（1ml/min）的流量，也就是說，SCCM是質(zhì)量流量單位，不同

sccm和slm是流量的單位，誰能說具體點嗎？

SCCM是標準立方米每分鐘的縮寫，是指在標準狀態(tài)（即1個大氣壓，25℃）下每分鐘1立方厘米（1ml/min）的流量，也就是說，SCCM是質(zhì)量流量單位，不同于一般的流量單位。例如，1cc/sec是單位時間內(nèi)通過的體積，而質(zhì)量流量是單位時間內(nèi)通過的氣體摩爾數(shù)。這個單位通常用于化學反應，如CVD，為了精確控制原子組成比（理想氣體公式：PV=NRT，在標準狀態(tài)下，氣體體積比等于摩爾比，所以只要控制氣體的質(zhì)量流量比，它等于反應氣體的摩爾比）

流量單位中SCCM是什么？

SCCM：標準ml/min s：標準表示CC:ml M:min SLM：標準L/min s：標準條件下的標準，L:L M:min

psi是壓力單位，定義為磅每平方英寸，145psi=1MPa，rsccm是質(zhì)量流量單位，標準條件下的ml/min。