什么是MEMS傳感器？什么是MEMS傳感器？MEMS是一種微電子機(jī)械系統(tǒng)。MEMS傳感器是利用微加工技術(shù)制造的一種新型傳感器，屬于MEMS器件的一個(gè)重要分支。這取決于MEMS技術(shù)傳感器的技術(shù)特性1。小

什么是MEMS傳感器？

什么是MEMS傳感器？

MEMS是一種微電子機(jī)械系統(tǒng)。MEMS傳感器是利用微加工技術(shù)制造的一種新型傳感器，屬于MEMS器件的一個(gè)重要分支。

這取決于MEMS技術(shù)傳感器的技術(shù)特性

1。小型化，其芯片尺寸基本上是納米級(jí)和微米級(jí)。

2. 多元化，主要體現(xiàn)在工藝、應(yīng)用領(lǐng)域和材料上。

3. 集成，將多個(gè)不同功能和敏感方向的傳感器集成在一起，形成一個(gè)陣列和系統(tǒng)。

4. 批量生產(chǎn)，適合批量生產(chǎn)，成本低。

一些典型的MEMS傳感器

1。MEMS壓力傳感器。它發(fā)展迅速，應(yīng)用廣泛。MEMS壓力傳感器根據(jù)其工作機(jī)理的不同可分為三種形式：壓阻式壓力傳感器、電容式壓力傳感器和諧振式壓力傳感器。

2. MEMS加速度傳感器。按其原理可分為壓阻式、壓電式、電容式、熱電偶式、光波導(dǎo)式等MEMS加速度傳感器，其中應(yīng)用最廣泛的是電容式加速度傳感器。