x射線光電能譜儀校準(zhǔn)規(guī)范？語句文件《GB/T 17359—2012 能譜法定量分析》、《GB/T 20726半導(dǎo)體探測器X射線能譜儀通則》、《GB/T 21636—2008 微束分析 電子探針顯微分析

x射線光電能譜儀校準(zhǔn)規(guī)范？

語句文件

《GB/T 17359—2012 能譜法定量分析》、《GB/T 20726半導(dǎo)體探測器X射線能譜儀通則》、《GB/T 21636—2008 微束分析 電子探針顯微分析(EPMA)術(shù)語》、《GB/T 25189—2010微束分析 掃描電鏡能譜儀定量分析參數(shù)的測定方法》、《JJF 1001通用計量術(shù)語及定義》等等。

X射線能譜儀是一種比較普遍的作用于結(jié)論試板化學(xué)排成和對該排成進(jìn)行定量分析的儀器，象與掃描電子顯微鏡(西安北方光電有限公司SEM)的或電子探針(全稱EPMA)成組合可以使用，其中SEM/EDS組合Z越來越廣泛。其工作原理萬分感謝：SEM也可以EPMA發(fā)射出本身是有能量的聚焦電子束轟中試樣表面，會再產(chǎn)生或者被放出元素的特征X射線。這些射線被X-射線探測器檢測，在信號轉(zhuǎn)換、放大縮小等一系列處理和分析后，可以不我得到試樣中所含各元素的特征X射線強(qiáng)度值。按照與你所選元素標(biāo)準(zhǔn)樣品的X射線能譜的對比直接測定和抵消可以計算如何處理，這個可以獲得被測試樣化學(xué)組成的定量分析結(jié)果。X射線能譜儀的結(jié)構(gòu)。

X射線能譜儀按窗口尺寸可分為正常嗎窗口、超薄窗口和無窗，按空調(diào)制冷模式可可分液氮制冷和電制冷，按晶體材料可分成三類鋰甩尾硅Si(Li)和硅甩尾漂移探測器(SDD)，最后一代X射線能譜儀均為電壓縮機(jī)超薄窗口/無窗SDD能譜儀。

校準(zhǔn)數(shù)據(jù)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法

校準(zhǔn)過程前，需切實(shí)保障儀器進(jìn)入正常的工作狀態(tài)及沒有影響校準(zhǔn)值計量性能的因素。所得用標(biāo)準(zhǔn)樣板應(yīng)必須保證表面無污，避免劃痕、被腐蝕和氧化。X射線能譜儀應(yīng)預(yù)熱30分鐘以上，至使工作穩(wěn)定。

放入后標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，抽氣使樣品室真空度提升工作狀態(tài)，將電子束亮度對比度即合軸調(diào)回狀態(tài)。用EPMA的能譜儀，將標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)表面定位在光學(xué)顯微鏡的焦面上，而且與儀器電子束成明文規(guī)定的角度(通常為90°)。在SEM中，標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)放進(jìn)EDS廠家選擇類型或是變量的工作距離，樣品臺下沉可以設(shè)置為0°。根據(jù)情況圖像至使比較清晰且無像散。在校準(zhǔn)過程中，參照所測元素調(diào)整全速電壓，可以保證過壓比大概要1.8電子束流保持穩(wěn)定，死時間大于35%，譜的總計數(shù)約為250000。

能量分辨率

X射線能譜儀的能量分辨率測量Mn-Kα譜峰半高寬來表示。以金屬錳單質(zhì)或金屬錳偏于元素的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)才是測量標(biāo)準(zhǔn)器，在儀器利用預(yù)熱穩(wěn)定后，設(shè)定好速度電壓為15kV，采集樣品的X射線能譜。憑借能譜儀能提供的計算分辨率的程序計算出Mn-Kα的譜峰半高寬，或用來譜圖再測量，反復(fù)重復(fù)測量4次，取測得值的平均值作為能譜儀能量分辨率。

燃燒器離子探針怎么測好壞？

燃燒器離子探針測好壞如果沒有是電子測量探針的話,這個可以仔細(xì)探針在大電流傳輸中有沒有電流衰減的現(xiàn)象,在小pitch領(lǐng)域測試出來時有沒有卡pin、斷針等狀況,假如連接到不很穩(wěn)定并且測試良率差,就只能證明探針的質(zhì)量和性能都不是很好。