掃描電鏡樣品制備方法步驟 舉例掃描電鏡分析薄膜樣品的優(yōu)缺點(diǎn)?
舉例掃描電鏡分析薄膜樣品的優(yōu)缺點(diǎn)?和光學(xué)顯微鏡及透射電鏡相比,掃描電鏡具有以下特點(diǎn): (一) 能夠直接觀察樣品表面的結(jié)構(gòu),樣品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。 (二) 樣品制備過程簡單,不
舉例掃描電鏡分析薄膜樣品的優(yōu)缺點(diǎn)?
和光學(xué)顯微鏡及透射電鏡相比,掃描電鏡具有以下特點(diǎn):
(一) 能夠直接觀察樣品表面的結(jié)構(gòu),樣品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。
(二) 樣品制備過程簡單,不用切成薄片。
(三) 樣品可以在樣品室中作三度空間的平移和旋轉(zhuǎn),因此,可以從各種角度對樣品進(jìn)行觀察。
(四) 景深大,圖象富有立體感。掃描電鏡的景深較光學(xué)顯微鏡大幾百倍,比透射電鏡大幾十倍。
(五) 圖象的放大范圍廣,分辨率也比較高??煞糯笫畮妆兜綆资f倍,它基本上包括了從放大鏡、光學(xué)顯微鏡直到透射電鏡的放大范圍。
分辨率介于光學(xué)顯微鏡與透射電鏡之間,可達(dá)3nm。
(六) 電子束對樣品的損傷與污染程度較小。
(七) 在觀察形貌的同時,還可利用從樣品發(fā)出的其他信號作微區(qū)成分分析。
環(huán)境掃描電鏡與掃描電鏡的區(qū)別?
傳統(tǒng)掃描電子顯微鏡(SEM)配有接收二次電子的探頭(ET),它的工作原理:ET探頭通過接收樣品的二次電子,經(jīng)光電倍增管放大后,信號再輸?shù)角爸梅糯笃鞣糯?。最后去調(diào)制顯象管或其它成象系統(tǒng);但它只能在高真空下工作,因此只光電倍增管能觀察不含水分的固體導(dǎo)電樣品相通過脫水、噴金屬化等處理后的生物樣品。對于含有適量水分的新鮮生物等樣品,傳統(tǒng)掃描電鏡就無法滿足要求。 普通掃描電鏡的樣品室和鏡筒內(nèi)均為高真空(約為10^-6個大氣壓),只能檢驗(yàn)導(dǎo)電導(dǎo)熱或經(jīng)導(dǎo)電處理的干燥固體樣品。低真空掃描電鏡可直接檢驗(yàn)非導(dǎo)電導(dǎo)熱樣品,無需進(jìn)行處理,但是低真空狀態(tài)下只能獲得背散射電子像。
環(huán)境掃描電鏡有二個探頭(ET和GSED),分別在高真空和低真空下工作。因此,它除了保持傳統(tǒng)掃描電鏡功能外。由于增加了GSED探頭,就增加了新的功能。GSED可以工作在低真空(約達(dá)20Torr)下,它安裝在物鏡極靴底部,探頭上施以數(shù)百伏的正電壓以吸引由樣品激發(fā)出的二次電子,二次電子在探頭電場中被加速并碰撞氣體分子使其電離,部分氣體電離成正離子和電子(這些電子被稱為氣體二次電子),這種加速一電離過程的不斷重復(fù),使初始二次電子信號呈連續(xù)比例級數(shù)放大,GSED探頭接收這些信號并將其直接傳到電子放大器放大成電信號去調(diào)制顯象管或其它成像系統(tǒng)。
環(huán)境掃描電鏡除具有以上電鏡的所有功能外,還具有以下幾個主要特點(diǎn): 1.樣品室內(nèi)的氣壓可大于水在常溫下的飽和蒸汽壓 2.環(huán)境狀態(tài)下可對二次電子成像 3.觀察樣品的溶解、凝固、結(jié)晶等相變動態(tài)過程(在-20℃~ 20℃范圍)。
環(huán)境掃描電鏡可以對各種固體和液體樣品進(jìn)行形態(tài)觀察和元素(C-U)定性定量分析,對部分溶液進(jìn)行相變過程觀察。對于生物樣品、含水樣品、含油樣品,既不需要脫水,也不必進(jìn)行導(dǎo)電處理,可在自然的狀態(tài)下直接觀察二次電子圖像并分析元素成分,